第12週 | 砂からチップへ ①

フォトリソグラフィの1サイクル

シリコンの板(ウェハ)の上に、光で模様を焼きつけて立体構造を作っていきます。
下のボタンで工程を1つずつ進めて、断面がどう変わるかを見てみましょう。

🎨 イメージは「版画を何色も刷り重ねる」── この6工程を何十回もくり返します
マスク(型紙) シリコン基板(ウェハ)
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シリコン基板 薄膜(酸化膜など) レジスト(感光材) 光が当たったレジスト