第12週 | 砂からチップへ ①
フォトリソグラフィの1サイクル
シリコンの板(ウェハ)の上に、光で模様を焼きつけて立体構造を作っていきます。
下のボタンで工程を1つずつ進めて、断面がどう変わるかを見てみましょう。
🎨 イメージは「版画を何色も刷り重ねる」── この6工程を何十回もくり返します
マスク(型紙)
シリコン基板(ウェハ)
1
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🔁 これを何十回もくり返して、立体的な回路を積み上げます
シリコン基板
薄膜(酸化膜など)
レジスト(感光材)
光が当たったレジスト